Vakum kaplama makinesinin buharlaşması önemli bir süreçtir
Mesaj bırakın
Vakum kaplama makinesinin buharlaşması önemli bir süreçtir
EI-5Z elektron ışını kaplayıcının film kalınlığı kontrolünün özellikleri analiz edilir. Deneysel sonuçların ve teorik araştırmaların yardımıyla, daha pratik bir ayar plakası yeniden tasarlandı ve daha iyi film performansı elde edildi: alt tabaka içindeki sapma ± yüzde 3 ve aynı alt tabaka partisi arasındaki sapma aralığı içindeydi. ±5 yüzde İçeride. Seri üretimin gereksinimlerini karşılayın.
Yarı iletken üretiminde buharlaşma önemli bir süreçtir. Film kalınlığı kontrolünün doğruluğu, sonraki üretim sürecini ve nihai ürünün performansını doğrudan etkileyen buharlaşma etkisini ölçmek için önemli bir göstergedir. Seri üretimde, bir yandan film kalınlığının doğru ölçümü vurgulanırken, diğer yandan film kalınlığının tekdüzeliği, yani film kalınlığının alt tabakanın yüzeyi ile değişimi ve film kalınlığının değişimi vurgulanır. rafta farklı konumlardaki alt tabakalar arasında — Ayrıca yüksek talepler var.
Vakumlu kaplama makinesinin buharlaşmasının temel prensibi
Buharlaştırma, ince filmlerin vakum koşulları altında biriktirilmesi yöntemindeki en eski tekniktir. Zamanla, birçok uygulamada yerini SPUTERRING veya PECVD gibi diğer yöntemlere bırakmıştır, ancak geniş yüzeyler yüksek oranda ince film biriktirme gerektirdiğinde, buharlaştırma teknolojisi hala en yaygın kullanılan ve Ekonomik çözümdür.
Buharlaşmanın teknik prensibi çok basittir. Buharlaştırılacak madde (buharlaşma kaynağı), buharlaştırma işleminin yapılacağı belirli bir haznede, belirli bir kap (pota) içerisine konur ve vakum koşullarında belirli bir sıcaklığa kadar ısıtılır. Buharlaşan malzemeyi ısıtmak için, indüklenmiş bir manyetik alan tarafından uyarılan bir elektron demeti veya dirençli tel ısıtması olmak üzere iki yöntem vardır. Buharlaşma odasının kapak tarafından korunmayan kısmında buharlaşan maddeler yüzeyde birikerek ince bir film tabakası oluşturur.
www.superbheater.com
