In Semiconductor Gofret İşleme, Benzersiz Sıcaklık Yönet Is Hayati İçin Yapma Emin Aşırı İyi Üretim Ve Güvenilir Araç Performans. Birkaç Anahtar Teknoloji Oyna Temel Roller İçinde Elde Etme Doğru Sıcaklık Yönetmek.

Başka anahtar çağ kullanım üstün ısıtma ve soğutma yapılar. Bu yapılar tasarlanmış ile kesinlikle yönetmek onun sıcaklığı nın beş tümü aracılığıyla türünün tek örneği işleme adımlar. İçin örnek, hızlı termal işleme (RTP) yapılar kullanım aşırı hafif yeniden varlıklar veya elektrik ısıtma faktörler için hızlı sıcaklık the gofret için aşırı sıcaklıklar sonra hangi o o aşağı hızlı. Bu yapılar düzenli olarak içeren son teknoloji sıcaklık yönet algoritmalar ve yorumlar mekanizmalar yapmak emin olmak doğru ve katı sıcaklık yönetmek.
Hassasiyet sıcaklık sensörler ayrıca gereklidir. İçinde ekleme ile termokupllar, farklı çeşitleri nın sıcaklığı sensörleri içeren nın direnci sıcaklık dedektörleri (RTD'ler) ve termistörler olabilir olabilir kullanılmış . Bu sensörler sağlar türünün tek örneği nimetler içinde ifadeler nın doğruluğu, reaksiyon zaman, ve kararlılık. Seçme the uygun sıcaklık sensör için bir seçili yardımcı program is gerekli için elde etme en çok verimli sıcaklık yönetmek.
Termal kontrol maddeler ayrıca can oynayabilir bir uçsuz bucaksız rol. Malzemeler ile aşırı termal iletkenlik olabilir yardımcı yanma yukarı sıcaklık hızlı ve eşit, whilst maddeler ile düşük termal büyüme katsayılar olabilir azaltmak termal zorlanma at the gofret. İçin örnek, sıcaklık lavabolar ürün of bakır veya alüminyum olabilir olabilir kullanılmış için kurtulmak ofret sıcaklık ile 2c ve termal arayüz maddeler yapabilir geliştirebilir the thermal touch arasında türünün tek örneği Bileşen.