Sensör minyatürleştirme ve çip teknolojisi

Mikro-elektromekanik sistem (MEMS), mikro-mekanizmalar, mikro-sensörler, mikro-aktüatörler, kontrol devreleri, sinyal işleme, iletişim, güç kaynakları, güç kaynakları, üretimler, üretim, ölçme ve kontrol etme teknolojisidir.

MEMS teknolojisi şunları içerir: Silikon Mikrochachining teknolojisi, derin reaktif iyon aşındırma, Liga teknolojisi, moleküler montaj teknolojisi, yığın mikro-akma, yüzey mikroakinasyonu, lazer mikro-akma ve mikro paketleme teknolojisi.

Silikon Mikrochachining Technology, MEM'lerin ana teknolojisidir. Hassas üç boyutlu işleme teknolojisidir. Sensörler, mikro aktüatörler, mikro aktüatörler ve mikro-mekanik sistemler geliştirmek için bir teknolojidir. Çeşitli mikro sensörler ve çok fonksiyonel hassas eleman dizileri üretmek için başarıyla kullanılmıştır. Mikro-Silikon Kapasitif Sensörler, Mikro-Silikon Kütle Akış Sensörleri, Dinamik Sensörler ve Havacılık, Otomotiv Basıncı ve Hızlanma Sensörleri, Çevre Koruma Mikro-Kemik Sensörleri, vb.

Sensör dizilerinin entegrasyon teknolojisi ve çok algılayan parametre kompozitleri

Entegrasyon, çoklu algılama fonksiyonlarının veri işleme, depolama, iki yönlü iletişim vb. İle entegrasyonunu ifade eder. Basınç, statik basınç, sıcaklık üç değişkenli sensör; hava basıncı, rüzgar kuvveti, sıcaklık, nem dört değişken sensör; Mikro silikon kompozit gerinim basınç sensörü ve dizi sensörü vb. Tüm entegrasyon teknolojisini kullanır. Entegrasyon işlemi ve çok değişkenli kompozit sensör mikroyapı, basınç, statik basınç, sıcaklık üç değişkenli sensör, hava basıncı, rüzgar kuvveti, sıcaklık, nem dört değişken sensör, mikro silikon kompozit gerinim basınç sensörü, dizi sensörü gibi entegre üretim işlemi.

İki tür sensör entegrasyonu vardır: biri, doğrusal bir sensör (CCD görüntü sensörü gibi) oluşturmak için mikro işleme teknolojisi aracılığıyla bir çip üzerinde birden fazla sensör modülü oluşturmaktır; Diğeri, yüksek entegrasyon, küçük boyut ve kolay telafi ve düzeltme ile entegre çok işlevli bir sensör yapmak için aynı silikon çip üzerinde farklı fonksiyonlara sahip hassas bileşenler yapmaktır.