Vakum Kaplayıcının Magnetron Püskürtme Ayar Parametreleri
Mesaj bırakın
Vakum Kaplayıcının Magnetron Püskürtme Ayar Parametreleri
Magnetron püskürtmeli kaplama ekipmanının geniş uygulaması, teknolojinin aşağıdaki şekilde özetlenebilecek özelliklerine göre belirlenir: çeşitli metaller, yarı iletkenler, ferromanyetik malzemeler dahil olmak üzere hedef haline getirilebilecek çeşitli malzemeler ince film malzemeleri olarak kullanılabilir malzemeler, yanı sıra yalıtkan oksitler, seramikler, polimerler vb.
Ek olarak, magnetron püskürtme ayar parametreleri, özellikle geniş alanlı kaplama için uygun olan film performansını ayarlayabilir ve biriktirme alanı daha üniformdur.
Vakum kaplayıcı magnetron püskürtme plazma empedansı düşüktür
Magnetron püskürtme kaplama ekipmanı, çeşitli ince filmler, farklı işlevlere sahip ince filmler hazırlayabilir ve ayrıca karışımları biriktirebilir ve ince filmleri karışık bileşenlerle birleştirebilir; magnetron püskürtme plazma empedansı düşüktür, bu da yaklaşık 500V'luk bir voltajda yüksek deşarj akımına neden olur. Deşarj akımı 1A ila 100A arasında olabilir (katodun uzunluğuna bağlı olarak); film oluşum hızı yüksektir ve biriktirme hızı 1nm/s'den 10nm/s'ye değiştirilebilir; birkaç metre uzunluğundaki katotta bile film oluşumunun tutarlılığı iyidir Püskürtme durumunda, film tabakasının tutarlılığı yine de sağlanabilir; alt tabakanın sıcaklık artışı düşüktür; Püskürtülen parçacıkların enerjisi yaklaşık onlarca elektron volttur, film oluşumu nispeten yoğundur ve film tabanı iyi bir şekilde bağlanmıştır.
Vakum kaplama makinesi ekipmanının ısıtma sıcaklığı çok yüksek:
Difüzyon pompası ısıtıcısının gücü nominal güce uymadığından, çok yüksektir, bu da yağ dönüşüne neden olabilecek büyük miktarda buharla sonuçlanır ve elektrikli fırın telini değiştirerek çözülebilir.
Vakum kaplama makinesinin soğutma suyu kanalı düzgün değil veya su basıncı yeterli değil:
Sonuç olarak, soğutma kapasitesi azalır, difüzyon pompasının üst kısmı ısınır ve yağ buharı iyi sıvılaştırılamaz. Çözüm, teraziyi söndürmek için difüzyon pompasının giriş borusunu 4mpa'lık bir hava kaynağına bağlamak ve çıkış borusuna da 4mpa'da üflemektir. Kabuk çok kalın ve sertse seyreltik hidroklorik asit eklenebilir. Veya difüzyon pompasını değiştirin.
www.superbheater.com
