Yüksek Sıcaklık Tavlama Fırını Termometresi için Sıcaklık Kalibrasyon Teknolojisinin Açıklaması

Yüksek sıcaklık tavlama fırınının, sıcaklığı doğru bir şekilde kontrol etmek için hızlandırılmış bir dijital PLD sıcaklık kontrol cihazı, termokupl, pirometre ve ısı kaynağından oluşan kapalı devre bir kontrol sistemi benimsediği bildirilmektedir. Farklı bölgelerdeki halojen lambaların işbirlikçi kontrolüyle, her bölgedeki sıcaklık farkı, sıcaklık kontrol işlemi sırasında telafi edilebilir ve alt katmandaki farklı bölgelerin sıcaklığı değişmeden kalır. Boşluğun alt kısmına monte edilmesi nedeniyle pirometre yalnızca alt tabakanın arkasından radyasyon alabilir ve lambadan radyasyon alamaz. Bu nedenle bir pirometre alt tabakanın sıcaklığını doğru bir şekilde ölçebilir. Bu pirometrenin sıcaklık kalibrasyon prensibi aşağıdaki gibidir:
1. Pirometreye Giriş:
Bu makalede tanıtılan pirometre, bir termal radyasyon optik pirometresidir. Pirometre, ölçülen nesneden kızılötesi radyasyon aldığında, optik sinyal filtrelenir, fotoelektrik dönüştürülür ve analog sinyal haline getirilecek şekilde güçlendirilir ve bu daha sonra sensörün sinyal arayüz devre modülüne iletilir. Bu modül, sinyal üzerinde A/D dönüşümü gerçekleştirir ve onu bilgisayar tarafından tanınabilecek dijital sinyale dönüştürür. Bilgisayara geri beslenen dijital sinyal, aşağıdaki metinde pirometre geribildirim değeri olarak anılacaktır.
2. Sıcaklık kalibrasyon tablosu:
İlgili kanunlara göre bir cismin sıcaklığı onun radyasyonu ve spektral emisyonuyla ilişkilidir. Yüksek sıcaklık tavlama fırınları için pirometrenin aldığı radyasyon miktarı temel olarak altlık malzemesi, katkılama, yüzeydeki doğal oksit tabakası ve altlık sıcaklığı gibi faktörlere bağlıdır. Aynı tip substrat için (yani aynı malzemeye, katkıya ve yüzeydeki doğal oksit tabakasına sahip substratlar), pirometre tarafından alınan radyasyon miktarı, substrat sıcaklığıyla ilişkilidir. Bu nedenle, aynı tip substrat için pirometrenin geri besleme değeri, substrat sıcaklığına bire bir karşılık gelir. Bu yazışma, sıcaklık kalibrasyon verilerini oluşturur ve birden fazla alt tabaka sıcaklığı ile bir pirometreden alınan geri besleme değerleri arasındaki ilişki verilerini depolamak için bir sıcaklık kalibrasyon tablosu kullanılır. Farklı sıcaklıklar pirometrenin farklı geri bildirim değerlerine karşılık gelir. Yüksek sıcaklık tavlama fırını bilgisayarı, pirometreden ve sıcaklık kalibrasyon tablosundan gelen sinyal değeri geri bildirimine dayanarak alt tabakanın gerçek sıcaklığını hesaplayabilir.