İnce filmlerin vakum kaplayıcının püskürtme yöntemiyle substratlar üzerine biriktirilmesi

İnce filmlerin vakum kaplayıcının püskürtme yöntemiyle substratlar üzerine biriktirilmesi

Püskürtme, yüklü parçacıkların (genellikle inert gazın pozitif iyonları) bir katının (bundan sonra hedef olarak anılacaktır) yüzeyini bombalamak için kullanıldığı, böylece hedefin yüzeyindeki atomların (veya moleküllerin) kaçmasına neden olan bir olgudur. BT. Bu fenomen, Grove tarafından 1842'de katot malzemesi vakum tüpünün duvarına taşındığında katodik korozyon problemini deneysel olarak incelerken keşfedildi. Alt tabaka üzerine ince filmler biriktirmek için bu püskürtme yöntemini kullanan vakumlu kaplayıcı, 1877'de piyasaya sürüldü.

Vakum kaplama makinesinin sınıflandırılması ve uygulama kapsamı

Genellikle kullandığımız iş parçası gaz giderme yöntemi fırınlamadır ve iş parçasındaki gaz ve nem ısıtılarak dışarı atılır. Kaplamadan önce iş parçası pompalama sırasında ısıtılır. Vakum odasındaki gazla birlikte vakum pompası tarafından dışarı pompalanır.

İş parçası içindeki gaz ve nem emisyonunu etkili bir şekilde kontrol etmek ve kaplamanın stabilitesini ve homojenliğini iyileştirmek için farklı iş parçaları için farklı gaz giderme önlemleri alınır. Vakumlu kaplama makinesinin sınıflandırılması ve uygulama kapsamı Vakumlu kaplama makinesi, esas olarak, vakumlu iyon buharlaştırma, magnetron püskürtme, MBE moleküler ışın epitaksisi, PLD lazer püskürtme biriktirme dahil olmak üzere birçok tür dahil olmak üzere yüksek vakum altında gerçekleştirilmesi gereken bir kaplama türünü ifade eder. Ve pek çok çeşit.

Vakum kaplama makinesinin olasılığı, iş parçasının kendisinin fiziksel özelliklerine bağlıdır.

Bazı iş parçaları kendi içinde çok fazla gaz, nem vb. Bu maddeler, ekipman ısıtıldığında vakum derecesini düşürerek vakum odasına boşaltılacaktır. Dahası, bazı gazların vakum odasına doğrudan zarar veren zehirli bileşenleri vardır. Dahili mekanik yapı, ekipmanın düzgün çalışmamasına neden olur. Ayrıca kaplama işlemi sırasında iş parçasındaki gazın ısınması ve genleşmesi nedeniyle kaplanan filmin çatlaması kolaydır. Tabii ki, bu durumun olasılığı iş parçasının kendisinin fiziksel özelliklerine bağlıdır, örneğin plastikler kolay genleşir, olasılık nispeten yüksektir. Metal gibi sert malzemeler için olasılık nispeten düşüktür, ancak göz ardı edilemez, bu nedenle iş parçasının gazının alınması çok gereklidir.

Vakum durumu, vakumlu kaplama makinesinin, özellikle yüksek derecede vakum gerektiren ekipmanın çalışmasını destekleyen ortamdır. Genellikle yüksek derecede vakum elde etmemiz gerekir. Hava tahliye sisteminin rolü vazgeçilmezdir, ancak vakumlu kaplama ekipmanında hava tahliye sistemine ek olarak çalışma sürecinde bir başka nokta da iş parçasının gazının alınmasıdır.

www.superbheater.com